專注非接觸式光學3D表面測量儀器
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詳細介紹
μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡光學測量系統是針對大型物體檢測（如軋輥和車身）而研發的。本系統以穩定的的μsurf共聚焦技術為基礎，因此它適用于嚴苛的生產環境。全套設備只有5.5kg，因此可以放在移動式運輸箱里并使用任何汽車進行搬運。到達現場后，這套系統只需要幾分鐘的準備時間就能投入使用。
μsurf 移動3D共聚焦顯微鏡的粗糙度測量結果遵循DIN,EN,ISO等標準，可以分析三維形貌和測量微觀尺寸并自動得出形狀結構和體積參數，測量結果會被轉移到一個可自由定義的分析軟件中進行進一步處理。在軋輥性能檢測中，它表面的紋理和缺陷能夠被精確的檢測和評估。這項技術已經在許多企業里得到成功的應用，這些企業涵蓋汽車行業、印刷和造紙行業、醫療技術行業、微電子技術行業；同樣，我們的技術同樣應用在眾多研究機構。
| 圖像采集模塊 | 采用先進掃描技術的高速數字相機掃描，高達55幀/秒， 512x512像素，10位，火線接口 |
光源 | 高性能LED燈（λ=505nm），平均*時間：50000h |
X、Y軸模塊MN50 | 精密定位模塊，X、Y軸測量范圍：50x50mm2 |
Z軸模塊MN35 | 精密掃描模塊，行程：35mm |
| Z軸模塊NV250 | 高速超高精度掃描模塊（壓電模塊），行程：250μm， 分辨率＜10nm |
| 外圍裝置及控制器 | 臺式機/筆記本/桌上型臺式機，Windows XP專業版，4GB RAM，火線接口，DVD光驅，以太網絡，3D導航器，集 成的移動便攜式運輸箱 |
| 底座 | 為了檢測軋輥表面形貌，設計了特殊的底座，用于測量直 徑＞200mm的軋輥 |
| μsorft控制系統 | NanoFocus的測量分析軟件能根據ISO制定的粗糙度標準，進行自動測量控制，設定測量參數，分析2D和3D測量數據。例如：剖視圖、2D觀測、3D結構重建、反射圖像、共焦曲線。 |
| 拼接模塊 | μsorft控制系統插件，用于擴大測量范圍 |
| μsorft分析系統（選配） | 用于分析3D測量數據的軟件，有布局功能，有用于系列 產品測量分析的模塊 |
文件大小/文件格式 | 大?。?/span>單次測量約0.8MB； 格式：NMS,OMS,ACLL,SDF,TIF,BMP,X3P |
通常測量時間 | 5-10秒，取決于共焦圖像數量 |
| 樣品材質 | 反射率：1-100%，有涂層，無涂層，鏡面反射，漫反射 |
| 減震系統 | 絕大多數測量都不需要再加另外減震器 |
| 電源 | 90-265V，頻率50-60HZ，輸入電路＜50W 選配：鉛蓄電池 |
| 電線長度 | 測量裝置電線：6m，電源電線：10m（包含內部線圈） |
| 重量/外形尺寸 | 測量裝置：5.5kg，380x110x155mm(長x寬x高) 收納集裝箱：25kg，460x360x700mm(長x寬x高) |
| 其他參數 | 防護等級：IP 52 |
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